๋๊ตญ์์
๋ค์ฐจ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ ๊ณต์ & ๋ฉํ๋ฌผ์ง ์์ฉ ์ฐ๊ตฌ ์งํ ์ค์ธ ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์
์ค๋งํธํฐ, ํ๋ธ๋ฆฟ PC, ๋ง์ดํฌ๋ก์ปจํธ๋กค๋ฌ ๋ฑ ์ฐ๋ฆฌ๊ฐ ๋ง์ด ์ฌ์ฉํ๋ ์ ๊ธฐ์ ์์ ํ์ ํต์ฌ๊ธฐ์ ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ด๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ธฐ์ด๋ก ํ ๋ง์ ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ํ์ฌ ์ฐ๋ฆฌ๋๋ผ๋ฅผ ์ด๋๊ณ ์๋ ๋ฐ๋์ฒด์ฌ์
์ ๊ตฌ๋๋ ฅ์ด๊ธฐ๋ ํ๋ค. ์ด๋ฌํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ ๊ณต์ ๋ฐ ๋ฉํ๋ฌผ์ง ์์ฉ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์งํํ๋ฉฐ ํ๋ฅญํ ์ฑ๊ณผ๋ฅผ ๋ด๊ณ ์๋ ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ๋ง๋๋ณด์๋ค.
โฒ๋ฌผ๋ฆฌ๋ฐ๋์ฒด ๊ณผํ๋ถ ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์(๋ฐ์ฌ๊ณผ์ )
์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ํ ๋ถฤว๊์์ ๋ฌผ๋ฆฌํ ํยท์์ฌ๊ณผ์ ์ ๋๋ง์น๊ณ ํ์ฌ ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต ๋ฌผ๋ฆฌ๋ฐ๋์ฒด ๊ณผํ๋ถ์์ ๋ฐ์ฌ๊ณผ์ ์ค์ด๋ค. ๊ทธ๋ 2021๋ 1์ ์ค๋ชฐ(small)์ ์ 1์ ์๋ก ์ฐ๊ตฌ์ฑ๊ณผ๋ฅผ ๊ฒ์ฌํ๊ณ , ๊ตญ์ ๋๋ ธ๊ธฐ์ ์ฌํฌ์ง์ NANO KOREA 2021์์ ์ฐ๊ตฌ ์ฑ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐํํ๋ ๋ฑ ํ๋ฐํ ์ฐ๊ตฌ ํ๋์ ์ด์ด๋๊ฐ๊ณ ์๋ค. (๋ ผ๋ฌธ๋ช : Mass Fabrication of 3D Silicon Nano-/Microstructures by Fab-Free Process Using Tip-Based Lithography)

โฒ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๋จ์๋ก ๊ท๊ฒฉํ๋ ๋ค์ฐจ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ ๊ณต์ ๋ฐ ๋ฉํ๋ฌผ์ง ์์ฉ ์ฐ๊ตฌ ไธญ ์ผ๋ถ
์ด ์ฐ๊ตฌ๋ ๋ค์ํ ์ฐจ์ ๋ฐ ํํ์ ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์ํ ์ ์๋ ๊ณต์ ๋ฒ์ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ์ ์๋ ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๊ท๋ชจ์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ด์์ ๋ฐ ์ผ์๋ก์ ์์ฉ์ ๋ชฉํ๋ก ํ๋ค. ํ์ฌ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ๋ฃ ์ค ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ค์ํ์์ ๋ง์ด ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฌ๋ฃ์ด๋ฉฐ, ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๊ท๋ชจ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ฌผ์ฑ ๋ถ์ ๋ฐ ์์ฉ ์ฐ๊ตฌ๋ ํ๋ฐํ๊ฒ ์ด๋ฃจ์ด์ง๊ณ ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๊ท๋ชจ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ํ ์ฐ๊ตฌ๋ ๊ณ ๊ฐ ์ฅ๋น์ ๊ณต์ ๋น์ฉ์ ์๊ตฌํ๊ณ , ์ด๋ ํ๊ต ์์ค์ ์ฐ๊ตฌ์์ ํฐ ์ ์ฝ์ด ๋ฐ๋ฅธ๋ค. ์ด์ ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ๊ธฐ์กด ์ฐ๊ตฌ๋ณด๋ค ์ ๋น์ฉ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌ์๊ฐ ์ํ๋ ํํ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์ํ ์ ์๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์์๊น, ์ด๋ป๊ฒ ํ๋ฉด ๊ด๋ จ ๋ถ์ผ์ ์ฐ๊ตฌ ์ ๊ทผ์ฑ์ ๋์ผ ์ ์์๊น ๊ณ ๋ฏผํ๋ค ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ ๊ณผ์ ๋ฅผ ์ ์ํ๋ค. ๋ํ, ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ด 2021๋
1์์ ๋ฐํํ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ(Small 2021, 17, 2005036)๋ฅผ ๊ฐ์ ๋ฐ ๋ฐ์ ํ ๊ฒ์๋ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ์ ์์๊ฐ ์์๋ค. ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ์ ๋น์ฉ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌ์๊ฐ ์ํ๋ ๋ค์ํ ์ฐจ์ ๋ฐ ํํ์ ๋๋
ธยท๋ง์ดํฌ๋ก ๋ฐ๋์ฒด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ ์ํ ์ ์๋ ์์ฒ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํจ์ผ๋ก์จ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฌ๋ฃ์ ํ์ฉ์ ๊ทน๋ํํ์ฌ ํ๊ต ์์ค์ ์ฐ๊ตฌ ์ ๊ทผ์ฑ์ ๋์ด๊ณ ๊ด๋ จ ๋ถ์ผ์ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ด์ง ๋ฐ ํ๋ฌธ ๋ฐ์ ์ ๊ธฐ์ฌํ ์ ์์ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ํ, ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ๋ถ์ผ ์์ 10% ์ด๋ด์ ๊ตญ์ ์ ๋ช
ํ์ ์ง ๋ฐํ๋ฅผ ๋ชฉํ๋ก ํ๋ค. ์ด๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฐ๊ตฌ ์ํ๊ธฐ๊ฐ ๋์ ๊ณผ์ ์ํ์๋ ๋๋
ธ๊ณต์ ๋ฅ๋ ฅ, ๋ฌผ์ฑ๋ถ์๋ฅ๋ ฅ, ์ ๋ฌธ์ ์ง์ ๋ฑ์ ์ ๋ฌธ ์ฐ๊ตฌ ๋ฅ๋ ฅ์ ํ๋ณดํ ์ ์์ ๊ฒ์ด๋ค.

โฒ ๋ฌผ๋ฆฌ๋ฐ๋์ฒด๊ณผํ๋ถ ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์๊ณผ ์ง๋๊ต์ ์ฅ์ฌ์ ๊ต์๋
[๊ธ๋
๊ต์ก๋ถ์ ํ๊ตญ์ฐ๊ตฌ์ฌ๋จ ์ง์ 2021๋
๋ ์ด๊ณต ๋ถ์ผํ๋ฌธํ์์ธ๋ ์ง์ ์ฌ์
์ ์ต์ข
์ ์ (2๋
๋์ ์ฐ๊ฐ 2์ฒ๋ง์์ฉ ์ฐ๊ตฌ๋น ์ง์)]
์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ก ๊ธ๋
์ฐ๊ตฌ์ฌ๋จ์ ๋ฐ์ฌ๊ณผ์ ์ ์ฐ๊ตฌ ์ฅ๋ ค๊ธ ์ง์ ์ฌ์
์ ์ต์ข
์ ์ ๋์๋ค. (๊ณผ์ ๋ช
: ๋๋
ธ/๋ง์ดํฌ๋ก ๋จ์๋ก ๊ท๊ฒฉํ๋ ๋ค์ฐจ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฌ ๊ณต์ ๋ฐ ๋ฉํ๋ฌผ์ง ์์ฉ ์ฐ๊ตฌ) ์ด์ ๊ดํด, ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ๋ณธ์ธ์ ์ดํ๊ณผ ๊ณตํ์ ์ด์ฐ๋ฅด๋ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฝํ๊ณผ ๋ฅ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์๋ ๊ฒ์ด ์ฅ์ ์ผ๋ก ์๊ฐ๋๋ค๊ณ ๋งํ๋ค. ๋ํ ์ง์ ์ฌ์
์ ์ข
ํฉ์๊ฒฌ์์ ์ํ๋ฉด, ๋ณธ ์ฐ๊ตฌ๋ ์ฃผ์ ์ ์ ๊ณผ ์ ํ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฝํ ๋ฐ ์ฐ๊ตฌ ์ญ๋์ ๋์ด ํ๊ฐ๋๋ค.
[์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ผ์]
์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์๊ฒ ๊ฐ์ธ์ ์ธ ์ด์ผ๊ธฐ๋ ๋ฌผ์ด๋ณด์๋ค. ๊ทธ๋ ํ๊ต์ ์์ ๊ณต๋ถํ๊ณ ์ฐ๊ตฌํ๊ณ ๊ฐ๋ ๋ฐํ๋ ํ๋ฉฐ ๋ฐ๋ณต์ ์ธ ์ผ์์ ๋ณด๋ด๊ณ ์๋ค๊ณ ํ๋ค. ๋น๋ก ๋จ์ํด๋ณด์ด๊ณ ๋ต๋ตํด ๋ณด์ผ ์ ์์ง๋ง, ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์๊ฒ๋ ์ด๋ฌํ ๊ณผ์ ์์์ ์๋ก์ด ๊ฒ์ ๋ฐฐ์ฐ๊ณ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ ๊ฐ์์ ์ผ๋ก ๋์์ ๋ ํ๋ณต๊ฐ์ ๋๋ผ๋ ๊ฒ ๊ฐ๋ค. ๊ณต๋ถ์ ์คํ์ ํตํด ๋ฌธ์ ์ ์ ๊ทน๋ณตํ๊ณ ๊ฐ์ ์์ผฐ์ ๋์ ์ต์ข
์ ์ผ๋ก ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐํํ๊ฑฐ๋ ๋
ผ๋ฌธ์ผ๋ก ์ถํํ ๋์ ํฐ ์ฑ์ทจ๊ฐ์ ๋๋๋ค๊ณ ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ด ๋งํ๊ธฐ๋ ํ๋ค.
์ฐ๊ตฌ์ ์์์์ ํฐ ํ๋ณต๊ฐ์ ๋๋ผ๋ ๊ทธ๋ ์์ผ๋ก ๊ณ์ํด์ ์ฐ๊ตฌ๋ฅ๋ ฅ์ ๋ฐ์ ์ํค๊ณ ๊ตญ์ ํ ๊ฐ๊ฐ์ ๊ธธ๋ฌ ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก ๊ฒฝ์๋ ฅ ์๋ ์ฐ๊ตฌ์๊ฐ ๋๋ ๊ฒ์ด ๋ชฉํ๋ผ๊ณ ๋งํ๋ค. ํ๋ ํ๊ตญ์ ๊ณผํ ๋ฐ์ ์ ์ด๋ฐ์ง ํ ์ ์๋ ์ฐ๊ตฌ์๊ฐ ๋๊ธฐ๋ฅผ ์๋งํ๋ค.
[์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ด ๋งํ๋ ๋ถฤว๊์]
๋์ผ๋ก ์์ฌ ํน์ ๋ฐ์ฌ๊ณผ์ ์ ๊ณ ๋ฏผํ๋ ํ์ฐ๋ค์๊ฒ ํด์ฃผ๊ณ ์ถ์ ๋ง์ด ์๋์ง ๋ฌผ์์ ๋, ๊ทธ๋
โ๋ถฤว๊์ ๊ณผ์ ์ ๊ทธ ๋ถ์ผ์ ์ค๋ฌด์ ์ธ ์์๋ค์ ๋ง์ด ๋ฐฐ์ฐ๋ฉด์๋ ์๊ธฐ๋ฐ์ ๋ฐ ๊ฐ๋ฐ์ ํ ์ ์๊ณ , ์๊ธฐ ์์ ์ด ์ฃผ๊ฐ ๋์ด ์ฐ๊ตฌ ๋ฐ ํ๋ก์ ํธ๋ฅผ ํ ์ ์๋ ์ข์ ๊ธฐํ์
๋๋ค. ๋ณธ์ธ์ด ์ข ๋ ๊ณต๋ถ๋ ํ๊ตฌํ๊ณ ์ถ์ ๊ฒ์ด ์๋ค๋ฉด, ํน์ ๋ณธ์ธ์ด ๊ฒฐ์ ํ ๋ฏธ๋์ ๋ถฤว๊์ ๊ณผ์ ์ด ํ์ํ๋ค๋ฉด ์ ๊ทน ๊ถ์ฅ ๋๋ฆฝ๋๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ธ์์ ๊ธธ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ถ๊ธํ๋ฉด ํ ๋ฒ ํด๋ณด๋ฉด์ ๋๊ปด๋ณด๋ ๊ฒ๋ ๊ด์ฐฎ์ ๊ฒ ๊ฐ์ต๋๋ค.โ
๋ผ๊ณ ๋งํ๋ค. ๋ง๋ถ์ฌ, ๋๊ตญ๋ถฤว๊๊ต ๋ถฤว๊์์ ์ฅ์ ๋ ์ด์ผ๊ธฐํด์ฃผ์๋ค. ์ฐ์ํ ๊ต์๋๋ค์ด ๋ง์ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฐ๊ตฌ์ ์ข ๋ ๋งค์งํ ์ ์๋๋ก ์ฅํ ์ ๋ ๋ฐ ํ์ฌ ์ ๋, ํ์ ์ง(๋
ผ๋ฌธ) ๊ฒ์ฌ์ฅ๋ ค๊ธ๊ณผ ๊ฐ์ ์ฐ๊ตฌ ์ฅ๋ ค ์ ๋๊ฐ ์ ๋ง๋ จ๋์ด ์๋ค๊ณ ํ๋ค. ํนํ ์์ธ ์ค์ฌ์ ์์นํ ์ง๋ฆฌ์ ํน์ฑ์ผ๋ก ํ ์ฐ๊ตฌ์ ๋ฐ ํ ๋ถฤว๊๊ต์ ์ํํ ๊ต๋ฅ๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ๋ค๋ ์ ์ ํฐ ์ฅ์ ์ผ๋ก ์ด์ผ๊ธฐ ํด์ฃผ์๋ค.
์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ํฌํ
์ฑ์ด ๋
ธ๋๋ฅผ ๋ฃ๊ฑฐ๋ ๋ฐ๋๋งจ ๊ฐ์ ์ฌ๋ฐ๋ ์๋ฅํ๋ก๊ทธ๋จ์ ๋ณด๋ฉฐ ์คํธ๋ ์ค๋ฅผ ํผ๋ค๊ณ ํ๋ค. ์ฐ๊ตฌ, ์ทจ๋ฏธ์ํ ๋ฑ ๊ทธ๋ ์์ ์ ์ผ์ ๋ง์กฑ๊ฐ์ด ๋์๋ค. ๊ทธ์ ์ฐ๊ตฌ ์ฑ๊ณผ๋ ์ฐ๊ตฌ์์ผ๋ก์์ ์ถ์ ๋ํ ๋ง์กฑ๊ฐ๊ณผ ์ด์ ์์ ์ค๋ ๋ฏ์ถ๋ค.
2021๋
1ํ๊ธฐ๊ฐ ๋ง๋ฌด๋ฆฌ ๋์ง ํ ๋ฌ์ด ์ง๋ฌ์ผ๋ฉฐ, ์ฌ๋ฆ ๊ณ์ ํ๊ธฐ๋ ๋ง๋ฌด๋ฆฌ๋๊ณ ์๋ค. 7์ ์ค์, ๋ณธ๊ฒฉ์ ์ผ๋ก ์์๋ ํญ์ผ๊ณผ ์ตํ ๋ ์จ๋ก ์ง์ฆ๋ ๋ง์ด ๋๊ณ ๋ฌด๊ธฐ๋ ฅ ํด์ง๋ ๊ฒ ๊ฐ๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋จ์ ๋ฐฉํ๊ธฐ๊ฐ ๋์๋งํผ์ ์กฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌ์์ฒ๋ผ ๋ณธ์ธ์ด ํ๋ณต๊ฐ๊ณผ ์ฑ์ทจ๊ฐ์ ๋๋ ์ ์๋ ์ผ๊ณผ ๋ค์ํ ์ทจ๋ฏธ ์ํ์ ํตํด ๋์ฑ ์ฑ์ฅํ๋ ๋๊ตญ์ธ์ด ๋๊ธฐ๋ฅผ ์๋งํ๋ค.
์น์ง๊ธฐ์ : ์ดํ๊ฒฝ(๊ฒฝ์ ํ๊ณผ)