91ฟดฦฌอ๘

ว๊™์ˆ ยท์—ฐ๊ตฌ

๋™๊ตญ๋Œ€ ๊น€์„ฑ์ค€ ์—ฐ๊ตฌํŒ€, VRRAM ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์†Œ์ž ๊ฐœ๋ฐœ

๋“ฑ๋ก์ผ 2024.01.09. ์กฐํšŒ 2530

(์™ผ์ชฝ๋ถถฤํ„ฐ) ๋™๊ตญ๋Œ€ ์ „์ž์ „๊ธฐ๊ณตํ•™๋ถ€ ๊น€์ง€ํ˜•, ์ด์ˆ˜๋ฐฑ ์„์‚ฌ, ๊น€์„ฑ์ค€ ๊ต์ˆ˜

(์™ผ์ชฝ๋ถถฤํ„ฐ) ๋™๊ตญ๋Œ€ ์ „์ž์ „๊ธฐ๊ณตํ•™๋ถ€ ๊น€์ง€ํ˜•, ์ด์ˆ˜๋ฐฑ ์„์‚ฌ, ๊น€์„ฑ์ค€ ๊ต์ˆ˜

 

๋™๊ตญ๋Œถฤว๊™๊ต ์ „์ž์ „๊ธฐ๊ณตํ•™๋ถ€ ๊น€์ง€ํ˜•, ์ด์ˆ˜๋ฐฑ ์„์‚ฌ (๊ณต๋™1์ €์ž), ๊น€์„ฑ์ค€ ๊ต์ˆ˜ (๊ต์‹ ์ €์ž)๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋œ ์—ฐ๊ตฌํŒ€์ด 4์ธต ์ˆ˜์ง ์ ์ธต VRRAM ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์†Œ์ž๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœํ–ˆ๋‹ค๊ณ  ๋ฐœํ‘œํ–ˆ๋‹ค.

2D cross-point ๊ตฌ์กฐ๋Š” ์ธต์ˆ˜๊ฐ€ ์ฆ๊ฐ€ํ•จ์— ๋”ฐ๋ผ ์‚ฌ์ง„ ๊ณต์ •์ด ์ถ”๊ฐ€๋กœ ํ•„์š”ํ•˜๋ฉฐ, ์ด๋กœ ์ธํ•ด ๊ณต์ • ๋‹จ๊ฐ€๊ฐ€ ๋Š˜์–ด๋‚˜๋Š” ์ œ์•ฝ์ด ์žˆ๋‹ค. ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์—์„œ ๊ฐœ๋ฐœํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์ธต์„ ์ˆ˜์ง์ ์œผ๋กœ ์ ์ธต์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์–ด ๊ณ ๋ฐ€๋„ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ด๋Š” ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์šฉ๋Ÿ‰์„ ํ™•์žฅํ•˜๊ณ  ๊ณต๊ฐ„ ํšจ์œจ์„ฑ์„ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ, ํ•œ ๋ฒˆ์˜ ์‹๊ฐ์œผ๋กœ ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์˜ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์…€์„ ๋™์‹œ์— ํ˜•์„ฑํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์–ด ๊ณต์ • ๋น„์šฉ ์ ˆ๊ฐํ•˜๊ณ  ์ƒ์‚ฐ์„ฑ ํ–ฅ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š”๋ฐ ํฐ ์žฅ์ ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค.

๊น€์„ฑ์ค€ ๊ต์ˆ˜๋Š” “๊ณต๋™1์ €์ž ํ•™์ƒ๋“ค์ด ์ง์ ‘ ์„œ์šธ๋Œถฤว๊™๊ต ๋ฐ˜๋„์ฒด๊ณต๋™์—ฐ๊ตฌ์†Œ์™€ ๋™๊ตญ๋Œถฤว๊™๊ต MINT ํŒน ์žฅ๋น„๋ฅผ ํ™œ์šฉํ•˜์—ฌ ์†Œ์ž๋ฅผ ์ œ์ž‘ํ•˜์˜€๊ณ  ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์™€ SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค์—์„œ VNAND์™€ ๊ฐ™์€ ์ˆ˜์ง ์ ์ธต ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์†Œ์ž์™€ ์œ ์‚ฌํ•œ ๊ณต์ • ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ๋„์ž…ํ•˜์˜€๋‹ค”๋ฉฐ “์ถ”๊ฐ€ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์ˆ˜์œจ๊ณผ ์‚ฐํฌ ๊ฐœ์„ ์ด ํ™•๋ณด๋˜๋ฉด, ํ–ฅํ›„ ๊ณ ๋ฐ€๋„ ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ๋ฐ ์ธ๊ณต์ง€๋Šฅ ๋ฐ˜๋„์ฒด์—์„œ ํ•ต์‹ฌ ์ €์žฅ ๋ฐ ์—ฐ์‚ฐ ์žฅ์น˜๋กœ ํ™œ์šฉ๋  ์ˆ˜ ์žˆ์„ ๊ฒƒ”์ด๋ผ๊ณ  ๊ธฐ๋Œ€๊ฐ์„ ๋‚˜ํƒ€๋ƒˆ๋‹ค.

๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ๋Š” ํ•œ๊ตญ์—ฐ๊ตฌ์žฌ๋‹จ ๋ฏธ๋ž˜๋ฐ˜๋„์ฒด์‹ ์†Œ์ž์›์ฒœ๊ธฐ์ˆ ๊ฐœ๋ฐœ ์‹ ์†Œ์ž์ง‘์ ๊ฒ€์ฆ๋ถ„์•ผ "์ˆ˜์ง ์ ์ธต ์ธ๊ณต์ง€๋Šฅ ํ”Œ๋žซํผ์„ ์œ„ํ•œ ์‹ ์†Œ์ž ๊ธฐ๋ฐ˜ ์ดˆ๊ณ ์ง‘์  ์ ์ธตํ˜• ์‹œ๋ƒ…์Šค ์–ด๋ ˆ์ด ๋ฐ CMOS ์ง‘์ ํšŒ๋กœ“ ๊ณผ์ œ์˜ ์ง€์›์„ ๋ฐ›๊ณ  ์„œ์šธ๋Œถฤว๊™๊ต, ์„œ๊ฐ•๋Œถฤว๊™๊ต, ์„œ์šธ์‹œ๋ฆฝ๋Œ€, ํ•œ๊ตญ์ „์žํ†ต์‹ ์—ฐ๊ตฌ์› ์—ฐ๊ตฌํŒ€ ๋“ฑ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ CMOS ์ง‘์ ํšŒ๋กœ ์œ„์— ๋‹ค์–‘ํ•œ ์ ์ธต ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์†Œ์ž(Flash, FeFET, PcRAM, RRAM)๋ฅผ ์ง‘์  ๊ณต์ •๊ณผ ํšŒ๋กœ/์‹œ์Šคํ…œ ์„ค๊ณ„๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋‰ด๋กœ๋ชจํ”ฝ ์‹œ์Šคํ…œ ๊ตฌํ˜„์„ ๋ชฉํ‘œ๋กœ ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋™๊ตญ๋Œ€ ์—ฐ๊ตฌํŒ€์€ RRAM ์ ์ธต ์†Œ์ž๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœ์— ์ง‘์ค‘ํ•˜๋ฉฐ 22๋…„ 12์›” Nano energy, 23๋…„ 7์›” Advanced Materials Interfaces, Nanoscale ๋“ฑ ์ €๋ช… ๊ตญ์ œ ํ•™์ˆ ์ง€์— ๊พธ์ค€ํžˆ ๊ฒŒ์žฌํ•ด ์™”๋‹ค. ํ˜„์žฌ 4์ธต ์ˆ˜์ง ์ ์ธต ์–ด๋ ˆ์ด RRAM ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ ์†Œ์ž๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœํ•˜์˜€๋‹ค. ๊ณผ์ œ ๋งˆ์ง€๋ง‰ ์—ฐ์ฐจ๋ฅผ ์„ฑ๊ณต์ ์œผ๋กœ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์„œ์šธ๋Œถฤว๊™๊ต, ์„œ์šธ์‹œ๋ฆฝ๋Œถฤว๊™๊ต ์—ฐ๊ตฌํŒ€๊ณผ ํ•จ๊ป˜ CMOS ์ง‘์ ํšŒ๋กœ์™€ RRAM ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ์˜ ์—ฐ๊ฒฐ์„ ํ†ตํ•ด ์ธ๊ณต ๋‰ด๋Ÿฐ๊ณผ ์‹œ๋ƒ…์Šค๋ฅผ ๊ตฌํ˜„ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ถ”๊ฐ€์ ์œผ๋กœ ์ง„ํ–‰ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค.

ํ•ด๋‹น ์—ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” <

Synaptic Characteristics and Vector-Matrix Multiplication Operation in Highly Uniform and Cost-Effective Four-Layer Vertical RRAM Array>๋ผ๋Š” ์ œ๋ชฉ์œผ๋กœ ์žฌ๋ฃŒ ๋ฐ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋ถ„์•ผ ์ €๋ช… ๊ตญ์ œ ํ•™์ˆ ์ง€ ใ€ŒAdvanced Functional Materials (IF=19.924)ใ€ 23๋…„ 12์›” ์˜จ๋ผ์ธ์— ๊ฒŒ์žฌ๋˜์—ˆ๊ณ  ์˜ฌํ•ด ์ƒ๋ฐ˜๊ธฐ์— ์ถœํŒ๋  ์˜ˆ์ •์ด๋‹ค.

ํ•ด๋‹น ๋…ผ๋ฌธ์€ ์„œ์šธ๋Œถฤว๊™๊ต ์‚ผ์ฐจ์› ์ง‘์  ๋ฐ ์†Œ์ž ์—ฐ๊ตฌ์‹ค๊ณผ ๊ณต๋™์œผ๋กœ ์ง„ํ–‰ ๋˜์—ˆ๊ณ  ํ˜„์žฌ ๋™๊ตญ๋Œ€ ๋ฐ•์‚ฌํ›„์—ฐ๊ตฌ์›์ธ ๊น€์„ฑ์ค€๋ฐ•์‚ฌ๋‹˜๊ณผ ์ถ”๊ฐ€์ ์ธ ๊ณต๋™์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ˆ˜ํ–‰์ค‘์— ์žˆ๋‹ค. ๊น€์ง€ํ˜• ์„์‚ฌ๊ณผ์ • ํ•™์ƒ์€ ์„์‚ฌ๊ณผ์ • ๋™์•ˆ ์ด 8ํŽธ์˜ SCIE ๋…ผ๋ฌธ์„ 1์ €์ž๋กœ ์ถœํŒํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ASML ๋ณธ์‚ฌ Brion Field Application Engineer๋กœ ์ž…์‚ฌํ•˜์—ฌ 1์›” ์ค‘์ˆœ๋ถ€ํ„ฐ ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ์‹œ์ž‘ํ•  ๊ฒƒ์ด๋‹ค.</synaptic>